洁净室是污染控制的基础，是一个有空气过滤、分配、优化、建筑材料和装置的房间。在洁净室极高的硅片制造链中，必须是没有污染源的洁净车间，才能使硅片零件正常量产。
与国外相比，中国洁净室的发展起步相对较晚。在过去的二十年里，随着越来越多的外国公司在中国设立企业或合资企业，一些高科技技术增加了他们对生产环境的要求。为了提升竞争力，各个行业都开始追求洁净室的质量。
? ? 正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。
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人员控制
? ? 经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。
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