无尘室内生产制造设备的选择、布置与保养以及防尘措施、实现自动化与无尘化的注意要点。
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1.无尘室生产设备的选择、布置与保养：
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a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分的发尘。
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b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
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c.生产用的水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。
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d.规划各设备的配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘的结构，规划各并以容易清洁为原则。
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e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。
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f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。
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g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘的堆积。
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h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度的不当造成结露生锈。
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i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。
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j.对于施工或维修的厂商，应告知进出无尘室的各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。
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k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。
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l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想的规划。
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2.无尘室生产设备的防尘措施：
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a.磨损、切削均为发生微尘的原因，故需将发尘部分掩盖的。
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b.易产生尘埃的设备，若能的话应布置于风尾地点。
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c.在操作时，尽量减的接触零件或产品。
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d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近的灰尘。
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e.各项厂务设施的供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
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f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。
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3.无尘室自动化与无尘化：
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a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。
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b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等。
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